Er zijn drie hoofdprocessen voor het vervaardigen van TFT-LCD:
1) Matrixverwerking
2)Organisatieproces
3) Modulair proces:
Eindelijk zien we het product.
1.Array-verwerking:
1) Een stuk glas met een glad oppervlak en geen onzuiverheden is de belangrijkste grondstof voor de productie van TFT-glassubstraten. Voordat u het maakt, moet het glas worden schoongewassen met een speciale reinigingsoplossing, vervolgens worden uitgedroogd en gedroogd.
2) Om metaalfilm op glassubstraten af te zetten, moeten metalen materialen eerst in een vacuümkamer worden geplaatst. Nadat plasma is geproduceerd door speciale gassen op het metaal, worden atomen op het metaal tegen het glas gestoten en wordt een laag metaalfilm gevormd.
3) Na het plateren van de metaalfilm, moeten we ook een laag niet-geleidende laag en halfgeleidende laag coaten. In de vacuümkamer verwarmen we eerst de glasplaat en spuiten vervolgens het speciale gas door de hoogspannings-elektrische sproeier om de elektronen en gassen plasma te laten produceren. Na een chemische reactie worden de niet-geleidende laag en de halfgeleiderlaag op het glas gevormd.
4) Nadat de film is gevormd, moeten we transistorpatronen op het glas maken. Allereerst moeten we een zeer gevoelige fotoresistieve vloeistof in de gele kamer spuiten, deze vervolgens bedekken met een lichtmasker om het blauwe en paarse licht voor belichting te bestralen, en uiteindelijk naar het ontwikkelingsgebied sturen om de ontwikkelaar te spuiten, dus als om de lichtweerstand na verlichting te verwijderen, maar ook om de fotoresistieve laag stereotiep te maken.
5) Nadat de fotoresist is ingesteld, kunnen we etsen gebruiken voor nat etsen, de nutteloze film blootleggen of droog etsen met de chemische reactie van plasma. Na het etsen kunnen we de resterende fotoresist met slip verwijderen en uiteindelijk het circuitpatroon produceren dat de transistor nodig heeft.
6) Om beschikbare dunne-filmtransistors te vormen, is het noodzakelijk om de processen van reinigen, coaten, fotoweerstand, belichting, ontwikkeling, etsen en fotoweerstand verwijderen te herhalen. Over het algemeen is het voor de vervaardiging van TFT-LCD 5 tot 7 keer nodig.
